در این سامانه با استفاده از لیزر فرابنفش و یک سامانه اپتیکی خاص، معماری مورد نظر بر روی زیرلایه سیلیکونی حک می گردد.

این دستگاه یکی از مهمترین سامانه ها در ساخت مدارات مجتمع الکترونیکی می باشد.

از این سامانه می توان در کاربرد های بسیاری همچون حسگر جابه‌جایی زیر آنگسترومی، تصویربرداری میکرو و نانو و... استفاده نمود.

این سامانه با تلاش و همکاری سه دپارتمان مواد، الکترونیک و اپتیک و لیزر شرکت بهیار صنعت سپاهان طراحی و ساخته شده است.