دستگاه لیتوگرافی مستقیم لیزری بهیار یک سیستم جامع و مفید برای ایجاد الگوهای بسیار کوچک بر روی بستر حساس به نور به صورت مستقیم و بدون نیاز به ماسک می باشد.
از این دستگاه جهت ایجاد ساختارهای میکرومتری برای کاربرد در صنایع و علوم مختلف مثل میکروفلوئیدیک، الکترونیک، شیمی، زیست شناسی، پزشکی، فیزیک و فوتونیک استفاده می‌شود.
ویژگی‌ها:
- انعطاف پذیری بالا
- مساحت کاری بزرگ
- موقعیت یابی سریع
- سرعت لیتوگرافی بالا
- تفکیک پذیری بالا
- کیفیت بهتر در لبه های ساختار نسبت به لیتوگرافی با ماسک
- بدون نیاز به تهیه ماسک های گران قیمت
- بدون نیاز به شرایط محیطی خاص برای انجام فرایند
- عدم آسیب رسانی به نمونه و فرسودگی ابزاری بخاطر غیر تماسی بودن فرآیند
- ابزاری توانا و مقرون به صرفه برای تولید انواع ریز ساختارهای پیچیده و نوآورانه
- قابلیت کار با انواع زیرلایه ها
- سیستم ترازبندی اتوماتیک برای ساختارهایی با نیاز به لیتوگرافی چند مرحله ای
- استفاده از ساکشن برای نگهداری نمونه بر روی بستر.
- کنترل الکترونیکی قسمت نوردهی و سکوی جابه جا گر.
- نرم افزار ساده و کاربر پسند.
