لایه نشانی بخار فیزیکی (PVD)

معرفی:

سامانه لایه نشانی حاضر ترکیبی از سه نوع روش لایه نشانی فیزیکی کندوپاش، مقاومتی و باریکه الکترونی می‌باشد. از جمله مهمترین ويژگی‌های این سامانه امکان تنظیم ارتفاع، سرعت چرخش، دما و بایاس زیر لایه، وجود حلقه گاز واکنش دهنده، تنظیم زاویه کاتد، تنظیم فشار محفظه توسط گیت ولو و سیستم کنترلی کامل برای انجام خودکار فرآیند می‌باشد.

کاربردها:

  • لایه نشانی لایه‌های همبافته (Epitaxy)
  • لایه نشانی لایه‌ها به صورت لایه لایه
  • در مواردی که لایه دفن شده پس از لایه نشانی نباید در معرض هوا قرار بگیرد
  • در مواردی که نیاز به چند مرحله لایه نشانی می‌باشد می‌توان در یک مرحله انجام داد
  • لایه نشانی آلیاژها
  • با تنظیم نرخ لایه نشانی با توجه به داده‌ی خروجی ضخامت سنج هر کاتد می‌توان آلیاژ مورد نظر را با نسبت دلخواه ایجاد کرد.
محصولات مرتبط
C0054.MP4.16_00_36_15.Still001
سامانه‌های لیزری پردازش مواد
آشکارساز
آشکارساز وضوح بالا اشعه ایکس
رادیوگرافی صنعتی 2
رادیوگرافی صنعتی
پردازش فیبری
پردازش قطعات اپتیکی
فیبر نوری 2
سامانه‌های پردازش فیبرنوری
میکروسکوپ2
میکروسکوپ روبشی لیزری
پرینتر سه بعدی فلز
پرینتر سه بعدی فلزات
لیتوگرافی
لیتوگرافی بدون ماسک مستقیم لیزری