معرفی:

سامانه لایه نشانی حاضر ترکیبی از سه نوع روش لایه نشانی فیزیکی کندوپاش، مقاومتی و باریکه الکترونی می‌باشد. از جمله مهمترین ويژگی‌های این سامانه امکان تنظیم ارتفاع، سرعت چرخش، دما و بایاس زیر لایه، وجود حلقه گاز واکنش دهنده، تنظیم زاویه کاتد، تنظیم فشار محفظه توسط گیت ولو و سیستم کنترلی کامل برای انجام خودکار فرآیند می‌باشد.

کاربردها:

• لایه نشانی لایه‌های همبافته (Epitaxy)
• لایه نشانی لایه‌ها به صورت لایه لایه
• در مواردی که لایه دفن شده پس از لایه نشانی نباید در معرض هوا قرار بگیرد
• در مواردی که نیاز به چند مرحله لایه نشانی می‌باشد می‌توان در یک مرحله انجام داد
• لایه نشانی آلیاژها
• با تنظیم نرخ لایه نشانی با توجه به داده‌ی خروجی ضخامت سنج هر کاتد می‌توان آلیاژ مورد نظر را با نسبت دلخواه ایجاد کرد.